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光学透镜中说的面型精度是什么意思?

2017/11/25 NMOT 34

     

光学透镜面型精度

面型精度图例

     光学透镜面型精度是采用精密抛光表面与理想平面的偏差量来表征。因为使用可以测量波面的光学干涉仪来测量,所以也被称为反射波面精度。光学透镜面型精度的干涉条纹数的单位是[λ]。λ是干涉仪所使用的氦氖激光器的波长632.8nm。

     

光学透镜干涉条纹

光学干涉仪条纹图例

     另外,表征面型精度有两个参数:PV和RMS值。

     PV值是Peak to Valley(峰值与谷值的差值),RMS值是Root Mean Square(均方根值),根据经验RMS值是PV值的1/3左右。因为象平面这类的简单形状,大多使用PV值来表示,所以本产品目录中的面型精度使用PV值表示。例如,面型精度的PV值是1/2λ时,表示与理想平面的最大偏差值是316.4nm。


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